主要特点：
1.独特的原位SPM成像功能
2.nanoDMA纳米动态力学分析
3.原位刚度，模量Mapping成像
4.原位声发射检测，同步监测实验过程中的声音信号
5.nanoECR原位电学性能测试
6.最大载荷可达10N，可以实现超高硬度材料的分析测试。
技术参数（TriboIndenter95）：
1.纵向（Z轴）
载荷分辨率：<1nN
载荷背景噪音：<30nN
zui小接触力：<70nN
位移分辨率：<0.02nm
位移背景噪音：<0.2nm
热漂移：<0.05nm/sec
2.横向（XY轴）
zui大横向力：5N
zui大横向位移：150mm
横向位移分辨率：500nm
横向位移背景噪音：0.5nm
3.样品台
XY轴方向移动范围：250mmX150mm
XY轴方向分辨率：500nm
Z轴方向移动范围：50mm
Z轴方向分辨率：3nm
1.主要功能：
1）纳米压痕试验
2） 纳米划痕试验
3） 纳米摩擦磨损试验
4） 在压痕、划痕、磨损前后的原位探针扫描成像
5） 纳米动态力学分析
2.技术指标：
用同一传感器以静电力加载的方式实现具有超高灵敏度的纳米压痕，纳米划痕，纳米摩擦磨损和原位扫描成像，扫描成像不需另换头，故是真正的原位压、划, 磨损和SPM扫描成像。
3.学术特色和应用范围
应用于薄膜、多相材料及其晶界、复合材料及其界面、MEMS、生物材料等各种材料在纳米尺度上的力学性能表征，可实现精确定位条件下的原位测试。利用它，不仅可以在纳米尺度上开展材料力学行为的研究，还可以进行纳米尺寸上的机械加工。
测试模块
压痕测试模块: 纳米/微米压痕测试，行业领先的系统稳定性
划痕和磨损测试模块: 最大载载荷500mN（微米测试时为20N）；标准的摩擦测量
冲击和疲劳测试模块: 真正纳米尺度上的冲击测试（MML公司的专利技术）
磨损测试模块: 高速、小范围内的往复磨损测试
选件
500°C高温测试台（用于NT和MT） 能进行压痕、划痕和冲击模块下的测试
750°C高温测试台（由500°C高温测试台升级、仅能用于NT） 能进行压痕、划痕和冲击模块下的测试
液体池 可以将样品完全浸入液体中进行压痕和划痕测试
湿度控制系统: 调节和控制环境箱内的湿度，相对湿度的可控制范围为25-80%
动态力学测试: 测量损耗模量/储能模量和力学损耗（tanδ）
声学传感器: 用于划痕研究
成像
单物镜显微镜 用于瞄准和观察压痕；提供两个可交换使用的物镜
多物镜显微镜 用于瞄准和观察压痕；提供一组四个已安装好的物镜
自制AFM成像系统/3D成像: 用于对样品、断裂韧性的测量进行原位3D成像，同时用于更精确
地控制样品位置
原子力显微镜 AFM用于3D成像，扫描范围50/200µm
模拟和标定
标准样品包 符合ISO14577标准的标准样品和AFM标准的压头包
